光學(xué)隔振平臺應用技術(shù)

   光學(xué)平臺，光學(xué)隔震平臺，氣浮隔震平臺具有先進(jìn)得隔振性能。光學(xué)平臺具有平整的表面，內部采用蜂窩狀的設計以獲得大的剛度，另外內部的阻尼機制大限度地減少了振動(dòng)對光學(xué)平臺表面的影響。剛性，被動(dòng)式和主動(dòng)式光學(xué)平臺能很好地把桌面從地面的振動(dòng)隔離出來(lái)。

隨著(zhù)先進(jìn)的設備和工藝的發(fā)展，使納米量級的測量成為可能。例如，變相光學(xué)干涉儀測量物體的表面粗糙度，目前可以達到1納米的分辨率。在半導體領(lǐng)域，已生產(chǎn)出線(xiàn)寬在亞微米量級的集成電路，提出測量準確率小于50納米的精度要求。
這樣的應用對系統中不同元件相關(guān)配合精度和穩定性提出了*的要求。
    例如，用顯微鏡對圖像進(jìn)行高度放大的成像系統，顯微鏡和照像物鏡共同決定了相紙上每點(diǎn)的圖像。如果，在曝光過(guò)程中光學(xué)系統的每一部分（照明系統、樣品、顯微鏡光學(xué)系統、成像光學(xué)系統和相紙平面）都精確地一同移動(dòng)，不存在相對位移，成像也會(huì )很清晰。如果樣品相對物鏡產(chǎn)生了運動(dòng)，則像就會(huì )模糊。在光學(xué)干涉測量、全息及運用相似的規律時(shí)，控制相對運動(dòng)都是很重要的。
在一個(gè)理想的剛性體內部（只在理論上存在），任何兩點(diǎn)的相對位置都是不變的。也就是說(shuō)，在振動(dòng)、靜力矩或溫度變化的情況下，任何實(shí)體的尺寸和形狀都是不變的。如果所有的元件都穩固地連接成一個(gè)理想的剛性體，不同元件之間沒(méi)有相對位移，系統的性能也會(huì )很穩固。
理想的剛性體是不存在的?，F實(shí)中的系統只能近似的認為是剛性的，因此，其穩定性就要受到多方面因素的影響。例如外界的振源，系統的重量，光學(xué)平臺的結構等等。
為了提高系統的穩定性，我們可以從以下的幾個(gè)方面來(lái)著(zhù)手。
1．將系統與振源隔離。
   外界的振源來(lái)源很多，比如地面的自振，各種聲音等等。但是影響大的是各種低頻的振源，主要集中在10～100Hz頻率內。將系統與這些振源隔離可以有效的提高系統的穩定性。采用大阻尼的空氣彈簧支撐方式可以較好的將系統與振源隔離。
2．控制振動(dòng)的作用。
   將系統組裝成動(dòng)態(tài)的剛性結構可以保證系統內部的相對穩定性，且可以降低在外界的影響下產(chǎn)生共振的幾率，提高系統的穩定性
3．控制靜力矩的作用。
   光學(xué)平臺的硬重比對于其共振頻率有著(zhù)重要的影響。較高的硬重比可以提高平臺的共振頻率，從而降低其在外界影響下的振動(dòng)。而且在外力作用下，具有較高硬重比的平臺可以在小的重量下產(chǎn)生小的變形，增加系統內部的剛性。內部采用蜂窩狀支撐結構的光學(xué)平臺可以充分的提高硬重比，達到提高系統性能的目的。
4．控制溫度變化。
   隨著(zhù)時(shí)間的延續，不規則溫度變化會(huì )造成漸漸的結構彎曲。減小溫度效應的關(guān)鍵在于控制環(huán)境減少溫度變化。例如，避免在平臺下放置散熱設備，隔絕熱源設備和硬件，如光源、火焰等。
5．盡可能將臺面設計成對溫度不敏感的。
   良好的熱傳導性可起到作用，然而，在特殊的應用中，選用不隨溫度變化而改變外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不脹鋼，具有極小的熱膨脹系數。