普通掃描電鏡是一種利用電子進(jìn)行成像的顯微鏡，由英文ScanningElectron Microscope直譯得名，簡(jiǎn)稱(chēng)為掃描電鏡。由于電子的德布羅意波長(cháng)遠小于可見(jiàn)光的波長(cháng)，掃描電鏡具有比光學(xué)顯微鏡高得多圖像分辨率，使我們擁有在亞原子尺度上觀(guān)察微觀(guān)世界的能力。
掃描電鏡噴金幾乎可以對所有類(lèi)型的樣本進(jìn)行圖像處理，陶瓷、金屬、合金、半導體、聚合物、生物樣品等。然而，某些特定類(lèi)型的樣品更具有挑戰性，并且需要操作者進(jìn)行額外的樣品制備，以便借助掃描電鏡噴金收集高質(zhì)量圖片。這些額外的步驟包括在樣品中表面濺射一個(gè)額外的導電薄層材料，如金、銀、鉑或鉻等。掃描電鏡噴金中的電子束具有較高能量，在與樣品的相互作用過(guò)程中，它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。
普通掃描電鏡由三大部分組成：真空系統，電子束系統以及成像系統。
?。?） 真空系統
真空系統主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器，真空泵用來(lái)在真空柱內產(chǎn)生真空。成像系統和電子束系統均內置在真空柱中。
?。?） 電子束系統
電子束系統由電子槍和電磁透鏡兩部分組成，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以?huà)呙璩上瘛?/div>
?。?） 成像系統
電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì )產(chǎn)生次級電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號，然后通過(guò)不同的檢測器來(lái)區分這些信號以獲取所需要的信息。
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