臺式掃描電鏡的測量過(guò)程分為兩個(gè)基本步驟：掃描和探測。在掃描過(guò)程中，電子束按照一定的模式在樣品表面上進(jìn)行掃描，掃描線(xiàn)圈在水平和垂直方向上控制電子束的位置。在探測過(guò)程中，樣品表面與電子束相互作用，產(chǎn)生多種種類(lèi)的信號。常見(jiàn)的信號包括：次級電子(Secondary Electrons,SE)、散射電子(Back scattered Electrons,BSE)、熒光X射線(xiàn)(X-Ray Fluorescence,XRF)和樣品電流等。
次級電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子在樣品表面附近發(fā)生幾次散射后，離開(kāi)樣品，并被探測器所探測到。次級電子的信號可以用于獲得樣品的表面形貌信息，因為次級電子的發(fā)射與樣品表面的幾何形貌有關(guān)。
散射電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子經(jīng)過(guò)一定的散射過(guò)程后，返回到探測器，并形成散射電子圖像。散射電子的信號可以用于獲得樣品的組成信息，因為散射電子受到樣品原子的核電荷和原子序數的影響，從而可以得到元素的分布情況。
熒光X射線(xiàn)是由電子束與樣品原子間的相互作用所產(chǎn)生的。當電子束與樣品原子相互作用時(shí)，被激發(fā)的內層電子會(huì )躍遷至低能級，釋放出X射線(xiàn)。這些X射線(xiàn)可以用于獲得樣品的元素組成信息和分布情況。
樣品電流是由電子束與樣品之間的相互作用所產(chǎn)生的。電子束在樣品表面上產(chǎn)生電子影響時(shí)，會(huì )引起電子的發(fā)射，從而產(chǎn)生一個(gè)電流。這個(gè)電流可以用于獲得樣品的導電性和電子能量分布等信息。
臺式掃描電鏡常用于以下領(lǐng)域：
1.觀(guān)察和分析各種材料的微觀(guān)形貌、表面形貌以及顆粒形態(tài)等，可用于制備材料的表征、材料缺陷分析等。
2.對生物樣品進(jìn)行高清晰度成像，觀(guān)察生物細胞、細胞器、組織結構等微觀(guān)結構，用于生物學(xué)研究、醫學(xué)研究等領(lǐng)域。
3.具有高分辨率和高增倍倍率的特點(diǎn)，可觀(guān)察納米顆粒、納米結構等微觀(guān)顆粒的外觀(guān)和形貌，有助于納米材料研究等領(lǐng)域。
4.可以用于觀(guān)察和分析環(huán)境污染物、顆粒物等相關(guān)樣品的形貌和組成，可以幫助了解污染源、污染程度以及環(huán)境影響等方面的問(wèn)題。
5.體積小、使用方便，它可以被廣泛應用于學(xué)校教學(xué)和科普活動(dòng)中，幫助學(xué)生和大眾更直觀(guān)地了解微觀(guān)世界。
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