高速分析熱場(chǎng)發(fā)射電鏡

JSM-7200F高速分析熱場(chǎng)發(fā)射電鏡產(chǎn)品介紹：

JSM-7200F是日本電子株式會(huì )社(JEOL Ltd.)于2015年推出的一款多功能、簡(jiǎn)單易用的分析型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，這款高分辨率掃描電鏡是進(jìn)行樣品納米級圖像顯微分析與微區化學(xué)成分分析的理想選擇。

    通過(guò)光闌角控制透鏡技術(shù)，JSM-7200F可以在任意加速電壓下實(shí)現小束斑尺寸的大分析束流進(jìn)而可以輕松實(shí)現100nm以?xún)鹊母呖臻g分辨率分析。

    JSM-7200F/LV配有大樣品倉，非常適合于搭載的能譜儀、波譜儀、EBSD相機、CL陰極發(fā)光探測器、拉伸臺、EBL以及SXES（JEOLzhuan利技術(shù)，通過(guò)探測低能量的波長(cháng)從而獲得樣品的化學(xué)價(jià)態(tài)信息）等分析探測器。同時(shí)，JSM-7200F具有抽屜式樣品倉可以安裝諸如加熱、拉伸以及冷凍樣品臺進(jìn)行原位分析。

JSM-7200F高速分析熱場(chǎng)發(fā)射電鏡特點(diǎn)：

浸沒(méi)式肖特基電子槍

    浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍為日本電子的zhuan利技術(shù)，通過(guò)對電子槍和低像差聚光鏡進(jìn)行優(yōu)化，能有效利用從電子槍中發(fā)射的電子，即使電子束流很大也能獲得很細的束斑。因而可以實(shí)現高通量分析（EDS、WDS面分析、EBSD分析等）。

TTLS（through-the-lens系統）

    TTLS（through-the-lens系統）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨率觀(guān)察和信號選擇的系統。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過(guò)給樣品加以偏壓，對入射電子有減速、對樣品中發(fā)射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。 
此外，利用安裝在TTLS的能量過(guò)濾器過(guò)濾電壓，可以調節二次電子的檢測量。這樣在極低加速電壓的條件下，用高位檢測器（UED）就可以只獲取來(lái)自樣品淺表面的大角度背散射電子。因過(guò)濾電壓用UED沒(méi)有檢測出的低能量電子，可以用高位二次電子檢測器（USD，選配件）檢測出來(lái)，因此JSM-7200F能同時(shí)獲取二次電子像和背散射電子像。

混合式物鏡（電磁場(chǎng)疊加）

    JSM-7200F的物鏡采用了本公司新開(kāi)發(fā)的混合式透鏡。 
這種混合式透鏡是組合了磁透鏡和靜電透鏡的電磁場(chǎng)疊加型物鏡，比傳統的out-lens像差小，能獲得更高的空間分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性，所以可以觀(guān)察和分析磁性材料樣品。

 JSM-7200F高速分析熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡規格：

主要選配件：

• 可插拔式背散射電子探頭（RBED）

• 高位二次電子探頭（USD）

• 低真空二次電子探頭（LV-SED）

• 能譜儀（EDS)

• 波譜儀（WDS）

• 電子背散射衍射系統（EBSD)

• 陰極熒光系統（CLD）

• 樣品臺導航系統（SNS）

• 電子束曝光系統
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