掃描電子顯微鏡，簡(jiǎn)稱(chēng)為掃描電鏡，英文縮寫(xiě)為SEM（Scanning Electron Microscope）。它是用細聚焦的電子束轟擊樣品表面，通過(guò)電子與樣品相互作用產(chǎn)生的二次電子、背散射電子等對樣品表面或斷口形貌進(jìn)行觀(guān)察和分析。SEM已廣泛應用于材料、冶金、礦物、生物學(xué)等領(lǐng)域。
SEM掃描電鏡由電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈和樣品室等部件組成。作用：獲得掃描電子束、作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
電子槍利用陰極與陽(yáng)極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束。目前大多數掃描電鏡采用熱陰極電子槍。優(yōu)點(diǎn)：燈絲價(jià)格便宜，真空要求不高；缺點(diǎn)：發(fā)射效率低，發(fā)射源直徑大，分辨率低?，F在，高等級掃描電鏡采用六硼化鋪（LaB6）或場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)坞娮酉竦姆直媛士蛇_到2nm。掃描電鏡的分辨率與電子在試樣上的小掃描范圍有關(guān)。通常電壓為130kV。
SEM掃描電鏡生物樣品制備技術(shù)：
常規電鏡樣品要求：
必須是干燥的，不含水分或揮發(fā)性物質(zhì)；
具有一定機械強度，能耐受電子束轟擊；
具有導電性，被激發(fā)時(shí)能夠產(chǎn)生足夠的二次電子。
生物材料特點(diǎn)：含水分多，質(zhì)地柔軟，機械強度??；組成元素的原子序數低，導電性差，激發(fā)后二次電子的產(chǎn)額較少。
制樣的任務(wù)：通過(guò)一系列處理，既要盡量保存材料的固有形態(tài)，又要改良其物理性能，使其適合在電鏡下觀(guān)察成像。
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