超高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

JSM-7900F 超高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡品是JEOL,是JEOL推出的新一代FE-SEM旗艦機型。 它繼承了上一代廣獲好評的*空間分辨率、高穩定性、多種功能等性能的同時(shí)，操作性能簡(jiǎn)單化。 該設備不依賴(lài)操作者的技能，始終能夠發(fā)揮其性能。

主要特點(diǎn)：

◇  Neo Engine（New Electron Optical Engine）

新一代電子光學(xué)控制系統Neo Engine（New Electron Optical Engine），是JEOL電子光學(xué)技術(shù)薈萃的結晶。 它綜合了透鏡控制系統和自動(dòng)化技術(shù)，即使改變電子光學(xué)條件，光軸的偏離也極小，大大提高了可操作性及觀(guān)察精度。 無(wú)論是誰(shuí)都可以很簡(jiǎn)便地發(fā)揮出儀器原本的功能。

①  提高了自動(dòng)功能

       樣品 : 用CP 制備的礦物截面（樹(shù)脂包埋）                 入射電壓 : 5 kV，檢測器 : RBED，觀(guān)察倍率 : ×100,000

      不僅提高了自動(dòng)功能的精度，而且只需要幾秒鐘就可以聚焦。

②   提高了倍率的精度

  樣品 : 測長(cháng)用的樣品（MRS5）     入射電壓 : 10 kV， 觀(guān)察倍率: ×50,000
 

      大幅度地提高了倍率的精度，而且實(shí)現了高精度測長(cháng)。

③ 能量過(guò)濾器更加易用   

     樣品 : 名片        入射電壓 : 1.5 kV， 檢測器 : UED， 觀(guān)察倍率 : ×3,500

     即使大幅度改變能量過(guò)濾器的設定值，視野或聚焦位置基本不會(huì )偏離。

◇ GBSH-S (GENTLEBEAM™  Super High resolution Stage bias mode)

GBSH 是在低加速電壓下提高分辨率的一種方法。 新開(kāi)發(fā)的GBSH-S可以給樣品臺施加高達5 kV的偏壓。 因此，使用GBSH模式不需要使用的樣品桿就可以無(wú)縫過(guò)渡到其他模式。

※GENTLEBEAM™ 通過(guò)給樣品施加偏壓，起到了對入射電子減速，對出射電子加速的作用。

◇ 新型背散射電子檢測器　※ 選配件

采用新開(kāi)發(fā)的超高靈敏度的背散射電子檢測器，可以在清晰的襯度下進(jìn)行觀(guān)察。 靈敏度比以往的產(chǎn)品提高了很多，特別是在低加速電壓下能得到高襯度的成分像。

                                舊機型                                                                   新機型

   樣品 : Cu的截面             入射電壓 : 3 kV     觀(guān)察倍率 : ×10,000  WD： 4.5 mm

◇ 新型外觀(guān)設計

     外觀(guān)設計緊湊，大大節省了安裝空間，可以支持多種安裝環(huán)境。

◇ 新的樣品交換方式

     采用新設計的樣品交換系統（load lock），操作簡(jiǎn)單了，不僅減少誤操作還提高了通量和耐用性。

◇ SMILENAVI

SMILENAVI 是為初學(xué)者在短時(shí)間內學(xué)會(huì )基礎操作而開(kāi)發(fā)的操作導航系統。 操作人員按照流程，只要點(diǎn)擊圖標，SEM操作畫(huà)面就會(huì )聯(lián)動(dòng)，依照提示引導即可操作。

①  強調操作按鈕

只要將鼠標光標挪到SMILENAVI的指南鍵上，SEM的GUI上的相應鍵會(huì )出現方框。

在SMILENAVI指南里點(diǎn)擊按鍵后，SEM的GUI會(huì )變成灰色來(lái)強調相應鍵。

②  顯示照片

在SMILENAVI的指南里點(diǎn)擊按鍵后，會(huì )顯示該按鍵位置的照片。

③  顯示操作順序的視頻

       SMILENAVI的指南里有介紹操作順序的視頻。

◇ 浸沒(méi)式肖特基 Plus 電子槍

浸沒(méi)式肖特基Plus FEG 通過(guò)與電子槍和低像差聚光鏡的組合，性能進(jìn)一步得到改善，達到了更高的亮度。 能有效地收集從電子槍發(fā)射出的電子，即使在低加速電壓下，也能獲得數pA ～數10 nA 的探針電流，不用交換物鏡光闌也能進(jìn)行高分辨觀(guān)察和快速元素面分布及EBSD 分析。

◇ ACL（光闌角控制鏡）

ACL（光闌角控制鏡）位于物鏡的上方，自動(dòng)優(yōu)化整個(gè)電流范圍內的物鏡光闌角。 因此，即使改變探針電流量，也能調整入射電子的擴散，始終可以獲取小的電子束斑。不管是高分辨觀(guān)察還是X 射線(xiàn)分析，對探針電流的大幅度變化都能輕松對應。

◇ 超級混合式物鏡 / SHL

JSM-7900F 標配了JEOL 開(kāi)發(fā)的電磁場(chǎng)疊加物鏡 —“超級混合式物鏡（SHL）”，對任何樣品包括磁性和絕緣材料都能進(jìn)行超高空間分辨率觀(guān)察和分析。

◇ 檢測器系統

能夠同步采集多達4 種檢測器的信號。

標配低位檢測器（LED）和高位檢測器（UED）。 此外，還可以安裝選配件：可插拔式背散射電子檢測器（RBED）和高位二次電子檢測器（USD）。

◇ 高空間分辨率觀(guān)察

利用GBSH，即使在極低的加速電壓下也能進(jìn)行高分辨率觀(guān)察。

 GBSH下，高空間分辨率觀(guān)察應用

●  氧化物納米材料

     ● 金屬納米顆粒

◇ 低真空功能  ※選配件

利用低真空功能，即使是絕緣材料也不需要對樣品噴涂導電層，并且能很容易地進(jìn)行觀(guān)察及測試。JSM-7900F 在低真空下也擁有*的空間分辨率。

高倍率下的觀(guān)察應用

 ● 玻璃

EDS分析應用

● 食品

利用低真空功能，能容易地抑制絕緣材料產(chǎn)生的充放電效應

JSM-7900F 超高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡技術(shù)參數: